在蚀刻这里有两个方面的含义:1、蚀刻配方的选择,2、蚀刻方法及参数的选择。
1、蚀刻成份的挑选,就是挑选呈含酸性蚀刻办法只是典型的含碱蚀刻办法,区别的蚀刻办法所挑选的抗蚀资料是区别的,在呈含酸性蚀刻办法含有三氯化铁型、硫酸型、磷酸型等,在典型的含碱蚀刻办法含有传统典型的含碱成份型、改善典型的含碱成份型等.
2、蚀刻的方式及技术指标的会选泽:蚀刻的方式对比简易 看法,比方说是选泽喷洒清洗式或者是浸湿式,一同喷洒清洗式也分类接入式和非接入式和非接入式等。技术指标会选泽我也主要是是对蚀刻高温把控好区间的会选泽。
仅有来确立了办法,才会依照选定定的办法来对选定定的铝碳素钢相关材料可以通过试验装置来确立此种办法范围英文达标的均匀蚀刻速率,或者在蚀刻全过程中常存在的侧蚀量。