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简述湿式蚀刻的优缺点

　　湿式蚀刻的优弱项：

　　低成本、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比。但相对于干式蚀刻，除了无法定义较细的线宽外，湿式蚀刻仍有以下的缺点：

　　1)需要花费较高投资成本的反响硫酸铜溶液及去化合物水；

　　2)强力气泡确立及化学式蚀刻液不能非常性与晶圆表明遇到所造的不非常性及不不均的蚀刻；

　　3)光阻粘附性话题；

　　4)电化学货品加工时人数所碰到的安全管理方面；

　　5)印刷废气及暗藏的大众娱乐性。

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