在蚀刻加工的工艺中，除不经任何防蚀处理的整体蚀刻方法外，都必须要注意防蚀层下蚀刻的“蔓延”问题，也就是大众娱乐
常说的侧腐蚀。侧腐蚀的大小直接关系到图文的精度和蚀刻线条的极限尺寸。通常把防蚀层下的水平方向的蚀刻宽度A称为侧蚀量，侧蚀量A与蚀刻深度H的比值就是侧蚀率F：
F=A/H式中：A为侧蚀刻量（mm），H为蚀刻厚度（mm）；F为侧蚀刻率或腐蚀性主观因素，主要用于说道差异條件下侧蚀刻量与蚀刻厚度左右的内在联系。
以上有关圆弧R的大小受蚀刻深度，被蚀刻窗口的最小宽度与蚀刻深度的比值、蚀刻液的组成、蚀刻方法及材料种类等的影响较大。侧蚀刻的量决定了化学蚀刻的精度，侧蚀量越小，加工的精度越高，适用的范围就越宽，反之，加工的精度低，适用范围小。
侧蚀量的宽度基本受物料物料的危害，在惯用的五种物料物料中，以铜的侧蚀量最短，铝的侧蚀量非常大。挑选更是为好的蚀刻剂，然而蚀刻的速度快调节并不显眼，但当然可调节物料蚀刻工作的侧蚀量。
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